光(guang)氧(yang)化是(shi)常溫(wen)下(xia)深度(du)光(guang)降解技術(shu)。該(gai)技術(shu)通過(guo)特(te)定(ding)波長(chang)的UV激(ji)發光(guang)源產(chan)生(sheng)不(bu)同能(neng)量的光(guang)量子；廢氣(qi)物(wu)質(zhi)對該(gai)光(guang)量子的強(qiang)烈吸收，在大量攜能(neng)光(guang)量子的轟(hong)擊下(xia)使廢(fei)氣(qi)物(wu)質(zhi)分(fen)子解離和(he)激(ji)發；空氣(qi)中(zhong)的氧(yang)氣(qi)和(he)水(shui)分(fen)及外加(jia)的臭氧(yang)在該(gai)光(guang)量子的（分(fen)解）作用(yong)下(xia)可產生大(da)量的新(xin)生態氫、活性（遊離）氧(yang)和羥(qiang)基氧(yang)等活(huo)性基團(tuan)；因遊離氧(yang)所(suo)攜正負(fu)電子不平衡所(suo)以需與(yu)氧(yang)分(fen)子結合(he)，進(jin)而(er)產生臭氧(yang)，臭氧(yang)對紫(zi)外線光(guang)束照射(she)分(fen)解後(hou)的(de)有(you)機物(wu)具(ju)有(you)強(qiang)的(de)氧(yang)化作用(yong)；部分(fen)廢氣(qi)物(wu)質(zhi)也能與活(huo)性基團(tuan)反(fan)應(ying)，降解轉(zhuan)化為(wei)低(di)分(fen)子化合物(wu)、CO2和(he)H2O等無害(hai)物(wu)質(zhi)，從而(er)達(da)到(dao)凈(jing)化廢氣(qi)的(de)目的(de)。
       在(zai)較低(di)的溫(wen)度(du)環境(jing)下(xia)能提高化學反(fan)應(ying)速率，而(er)本身(shen)結構(gou)（組(zu)成、化學性質和質量）不發生永(yong)久(jiu)性改變的(de)物(wu)質(zhi)。催化劑所(suo)產生的作用(yong)稱(cheng)為(wei)催化作用(yong)；涉及催化劑的(de)反(fan)應(ying)為(wei)催化反(fan)應(ying)。